具恒温控制的光阻液调配槽

摘要

本实用新型公开一种具恒温控制的光阻液调配槽，其包含有一内部形成有一容置空间且供光阻液容置的本体，以及一伸置于该本体内的搅拌装置；所述本体上设有一固定该本体且伸置于光阻液内的温控单元，一与该温控单元连接、并在温控单元感测到光阻液温度高于设定值时接收其发出的控制讯号并启动冷却装置作用的控制器，以及一与该控制器连接且包覆于本体外的冷却装置。此种调配槽利用冷却装置控制调配槽内的光阻液温度，确保该光阻液在一定恒温状态下，除可避免光阻液变质而无法使用外，更可提升光阻液的重复使用率及期限，大大降低费用成本支出。

主权项

1、一种具恒温控制的光阻液调配槽，其包含有一内部形成有一容置空间且供光阻液容置的本体，以及一伸置于该本体内的搅拌装置；其中，本体上开设有一供光阻液输入且与容置空间连通的第一入口，一供调合溶剂输入的第二入口，一可将回收的光阻液导入的导入口，以及一供调配完成的光阻液输出的输出口；另外，搅拌装置具有一设于本体上的驱动单元，一受该驱动单元连动且伸置容置空间内的传动轴，以及复数设于该传动轴上的搅拌叶片；其特征在于：所述本体上设有一固定该本体且伸置于光阻液内的温控单元，一与该温控单元连接、并在温控单元感测到光阻液温度高于设定值时接收其发出的控制讯号并启动冷却装置作用的控制器，以及一与该控制器连接且包覆于本体外的冷却装置。