激光干涉仪光路准直瞄准装置

摘要

激光干涉仪光路准直瞄准装置，其特征是在靶镜的反射面上固定设置四象限探测器，所述四象限探测器是四个性能相同的光电二极管按照直角坐标的方式，以“O”点为坐标原点，排列成四个象限，各光电二极管的光敏面朝向激光器；以四个象限中的光电二极管为分别作为各个象限的光强探测器，设置运算电路，在运算电路中分别输出激光光斑水平位移信号X值和激光光斑垂直位移信号Y值。本实用新型可以定量且快速、准确地实现干涉光路的调整，从而降低余弦误差对测量系统的影响。

主权项

1、激光干涉仪光路准直瞄准装置，其特征是在靶镜的反射面上固定设置四象限探测器，所述四象限探测器是四个性能相同的光电二极管按照直角坐标的方式，以“O”点为坐标原点，排列成第一象限、第二象限、第三象限和第四象限，各光电二极管的光敏面朝向激光器；以所述四个象限中的光电二极管为分别作为各个象限的光强探测器，分别以各个光电二极管对应输出各象限光强电流信号I1、I2、I3、I4；设置电信号转换电路，所述各象限光强电流信号在经电信号转换电路之后以各象限电压信号U1、U2、U3、U4对应输出；设置运算电路，在所述运算电路中分别输出激光光斑水平位移信号X为(U1+U4)-(U2+U3)和激光光斑垂直位移信号Y为(U1+U2)-(U3+U4)。