| 摘要 |
1. Способ изготовления пружинного элемента (1, 1') с гибким основным телом (4), который имеет детекторную зону (10), электрическая проводимость (σ) которой определяется посредством электронных туннельных, ионизационных или прыжковых процессов, при котором детекторная зона (10) изготавливается посредством локального приложения энергии, причем некоторое число материалов-предшественников (50), подведенных в газообразной форме от зоны (54) осаждения вблизи подожки (52) энергетически возбуждаются для преобразования, причем продукты преобразования (56) в твердой и нелетучей форме осаждаются на подложке (52). ! 2. Способ по п.1, в котором основное тело (4) изготавливают посредством локального приложения энергии. ! 3. Способ по п.1, в котором детекторная зона (10) и/или основное тело (4) изготавливают посредством индуцированного электронным пучком осаждения. ! 4. Способ по любому из пп.1-3, при котором в качестве материалов-предшественников (50) применяют органические, неорганические, диэлектрические или металлорганические мономеры, олигомеры и/или полимеры. ! 5. Способ по любому из пп.1-3, при котором предусмотренный для энергетического возбуждения материалов-предшественников (50) пучок ионов, фотонов или электронов по отношению к подложке (52) направляют латерально или трехмерно, в зависимости от заданной номинальной геометрии отложения (56). ! 6. Способ по любому из пп.1-3, при котором температуру подложки (52) и/или температуру источника предшественника во время осаждения регулируют в зависимости от давления паров материалов-предшественников (50), определенного в зоне (54) осаждения. ! 7. Способ по любому из пп.1-3, при котором некоторое число параметров, � |
