| 主权项 |
1.一种光学干涉测量装置，其特征在于它包括激光器(1)、第一反射镜(2)、第一半透半反分束器(3)、第二反射镜(4)、相位调制组件(5)、第一探测器(6)、第一差分器(7)、相关器(8)，激光器(1)产生的相干光束经过第一半透半反分束器(3)分成两个相干光束，其中一个相干光束经过第一反射镜(2)的移动产生一个相位变化，另一个相干光束经过第二反射镜(4)进入相位调制组件(5)，然后两个相干光束经过的第一半透半反分束器(3)输出两个干涉光束，两个干涉光束经过第一探测器(6)的探测变成电信号，电信号经过第一差分器(7)和相关器(8)实现对相位变化的测量；所述的相位调制组件(5)是一个带有光锁相环控制单元的相位调制机构，它包括分束器(9)、第二半透半反分束器(10)、第二探测器(11)、第二差分器(12)、放大器(13)、环路滤波器(14)、控制信号发生器(15)、赝随机码产生器(16)、相位调制器(17)，相干光束经过相位调制器(17)前后的两个分束器(9)的作用，产生的两个相干光束经过第二半透半反分束器(10)输出两个干涉光束，两个干涉光束经过第二探测器(11)的探测变成电信号，电信号经第二差分器(12)，放大器(13)、环路滤波器(14)产生一个控制信号，控制信号和赝随机码产生器(16)产生的赝随机码序列经过控制信号发生器(15)产生一个驱动信号对相位调制器(17)进行驱动。 |
