薄膜沉积用的掩模及用该掩模制造有机发光显示器的方法

摘要

本发明提供了一种用于薄膜沉积的掩模及制造OLED的方法。本发明公开了在形成有机发光装置中的有机薄膜或导电层中使用的用于薄膜沉积的掩模。在一个实施例中，掩模包括：i)底构件；ii)多个狭缝，构造为穿透底构件，其中多个狭缝具有预定长度并沿第一方向延伸，其中多个狭缝包括置于第二方向最外面的最外狭缝，第二方向相对于第一方向具有预定角度，其中最外狭缝包括两个彼此分离的子狭缝；以及iii)肋支撑部件，形成在两个子狭缝之间并与两个子狭缝接触，其中肋支撑构件从与最外狭缝相邻的肋延伸。

主权项

1.一种用于薄膜沉积的掩模，包括：底构件；和穿透所述底构件的多个狭缝，其中所述多个狭缝具有预定长度并沿第一方向延伸，其中所述多个狭缝包括置于沿第二方向的最外位置的最外狭缝，所述第二方向相对于所述第一方向具有预定角度，并且其中每个所述最外狭缝包括通过肋支撑部件彼此分离的两个子狭缝。