发明名称 Gate capacitance measurement method with dissipation factor error correction
摘要
申请公布号 KR100945512(B1) 申请公布日期 2010.03.09
申请号 KR20030012040 申请日期 2003.02.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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