发明名称 OPTISCHE INTERFEROMETER.
摘要
申请公布号 NL1035300(C) 申请公布日期 2010.03.09
申请号 NL20081035300 申请日期 2008.04.16
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES, INC, 发明人 FELIX, GREG C.;BOCKMAN, JOHN
分类号 G01B9/02;G03F7/20 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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