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发明名称 METHOD FOR DETECTING TIP POSITION OF PROBE, ALIGNMENT METHOD, APPARATUS FOR DETECTING TIP POSITION OF PROBE AND PROBE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100945328(B1) 申请公布日期 2010.03.08
申请号 KR20080022752 申请日期 2008.03.12
申请人 发明人
分类号 G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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