DEVICE AND METHOD FOR HANDLING SUBSTRATES

摘要

Die Erfindung betrifft das Handhaben von Gut (1), insbesondere zum Transport in bevorzugt horizontaler oder geneigter Lage von bruchempfindlichen Substraten als Wafer oder Solarzellen in Produktionsanlagen von einem Nass- oder Trockenprozess zum nächsten mittels einer Greif Vorrichtung (3), die sich an einem Handhabungsgerät oder an einem Roboterarm befindet. Die Erfindung sieht eine Greifvorrichtung (3) vor, die zusätzlich mit Richtmitteln (8) ausgerüstet ist. Das Richten des zunächst in einer unbestimmten Lage befindlichen Gutes (1) geschieht durch Schließen der Richtmittel (8) in Richtung zum Gut. Anschläge (18) für die Richtmittel (8) bestimmen die vorbestimmte Richtlage des Gutes. Diese Lage steht in einem festen räumlichen Bezug zur Greifvorrichtung (3), wodurch diese Lage auch im übergeordneten Steuerungssystem der Anlage bekannt ist. Das Richten kann vor dem Abholen des Gutes von einer Ablage (2) erfolgen. Es kann auch während des Transportes zur Zielposition oder erst in dieser Zielposition erfolgen, dessen Koordinaten bzw. Position im Steuerungssystem der Produktionsanlage ebenfalls bekannt sind bzw. ist.