发明名称 Verfahren zum Herstellen rückseitenbeschichteter Halbleiterchips
摘要
申请公布号 DE102004009742(B4) 申请公布日期 2010.03.04
申请号 DE200410009742 申请日期 2004.02.25
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 JEREBIC, SIMON;VILSMEIER, HERMANN;GROENINGER, HORST;BAUER, MICHAEL
分类号 H01L21/301;H01L21/78 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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