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发明名称
Verfahren zur Abscheidung einer Schicht aus polykristallinem Material über einem Silizium enthaltenden Substrat
摘要
申请公布号
DE69841445(D1)
申请公布日期
2010.03.04
申请号
DE19986041445
申请日期
1998.06.09
申请人
CHARTOLEAUX KG LLC
发明人
REGOLINI, JORGE LUIS
分类号
C23C16/24;H01L21/285;C23C16/42;C23C16/50;H01L21/3205
主分类号
C23C16/24
代理机构
代理人
主权项
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