Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren

摘要

Die vorliegende Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Das mikromechanische Bauelement umfasst eine erste Komponente (102); und eine zweite Komponente (101), mit der die erste Komponente (102) durch einen Legierungsbereich (150) verbunden ist; wobei die erste und zweite Komponente (102; 101) einen Vakuumbereich (104) oder Restgasbereich (104) einschließen, der durch den Legierungsbereich (150) abgedichtet ist.