| 发明名称 |
NANO IMPRINT LITHOGRAPHY USING AN ELASTIC ROLLER |
| 摘要 |
Imprint lithography devices and methods of lithography are provided.
|
| 申请公布号 |
US2010052216(A1) |
申请公布日期 |
2010.03.04 |
| 申请号 |
US20080201887 |
申请日期 |
2008.08.29 |
| 申请人 |
KIM YONG HYUP;SEO DONGKYUN |
发明人 |
KIM YONG HYUP;SEO DONGKYUN |
| 分类号 |
B29C51/22 |
主分类号 |
B29C51/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
