| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Oberflächenbehandlung von optischen Erdalkalimetallfluoridkomponenten und unter Verwendung des Verfahrens hergestellte optische Erdalkalielemente. Insbesondere verwendet das Verfahren der Erfindung bei dem letzten Polierschritt eine Polieraufschlämmung mit kolloidalem Silica, die Silicateilchen mit einer Teilchengröße von < 500 nm enthält. Außerdem verwendet das Verfahren nach dem Polieren mit kolloidalem Silica einen Megaschallreinigungsschritt mit einer Reinigungsmittel-Reinigungslösung mit einem hohen ph-Wert, um etwaigen Silica-Rest auf der polierten optischen Komponente zu entfernen. Die aus der Verwendung des Verfahrens resultierende Optik weist eine Rauheit der polierten und ungeätzten Oberfläche von unter 0,5 nm auf; eine Oberflächenrauheit von weniger als 0,6 nm nach dem Polieren und Ätzen und eine Stufenhöhe von unter 6 nm. |
