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发明名称 Drainageanordnung einer Polieranlage
摘要
申请公布号 DE69739740(D1) 申请公布日期 2010.03.04
申请号 DE19976039740 申请日期 1997.11.13
申请人 EBARA CORP. 发明人 TOGAWA, TETSUJI;YAMAGUCHI, KUNIAKI
分类号 B24B37/04;B24B57/00;H01L21/00 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
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