| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position von zwei relativ zueinander in mindestens einer Messrichtung beweglichen Objekten. Die Positionsmesseinrichtung weist eine Maßverkörperung auf, die mit einem der beiden Objekte verbunden ist, die eine sich in Messrichtung erstreckende Inkrementalteilung sowie mindestens eine Referenzmarkierung an einer Referenzposition besitzt. Die Referenzmarkierung umfasst zwei zu einer Referenzmarkierungs-Symmetrieachse spiegelsymmetrisch angeordnete Referenzmarkierungs-Teilfelder, die jeweils aus einer sich in Messrichtung erstreckenden Struktur mit einer sich örtlich veränderlichen Teilungsperiode bestehen. Ferner weist die Positionsmesseinrichtung eine Abtasteinheit auf, die mit dem anderen der beiden Objekte verbunden ist und der Abtastmittel zugeordnet sind, die zur Erzeugung mindestens eines Referenzsignals an der Referenzposition dienen. Die Abtastmittel umfassen mindestens eine divergent in Richtung der Maßverkörperung abstrahlende Lichtquelle sowie eine Detektoranordnung mit Elementen, die entlang der Messrichtung derart angeordnet sind, dass sich ausgehend von einer zentralen Detektoranordnungs-Symmetrieachse in Messrichtung die Mittenabstände zwischen benachbarten Elementen in der gleichen Richtung verändern wie ausgehend von der Referenzmarkierungs-Symmetrieachse die Teilungsperioden der Strukturen in den Referenzmar kierungs-Teilfeldern.</p> |
