发明名称 Apparatus for inspecting homogeneity of the coefficient of the optically induced linear birefringence in thin film
摘要
申请公布号 KR100945387(B1) 申请公布日期 2010.03.04
申请号 KR20070116223 申请日期 2007.11.14
申请人 发明人
分类号 G01N21/23;G01B9/02;G01N21/00 主分类号 G01N21/23
代理机构 代理人
主权项
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