一种硅块切割设备的防涨裂装置

摘要

本实用新型涉及一种晶体硅块切割设备的防涨裂装置，属于半导体晶体硅工业生产设备领域。其特征在于所述的硅块切割设备设有一防止切割硅块涨裂的装置，所述的防涨裂装置由一底板和设于硅块两端、与底板固定连接的两块固定板组成，固定板开设若干螺孔，切割硅块放置于固定板之间，用螺钉夹持。本实用新型工艺简单、易行可靠，提高了切割硅片的优良率；降低了单次切割的裂片率，使得单次切割的出片量明显增加；减小切片过程中钢丝断线的概率，降低切片的成本，可以广泛应用于单晶硅和多晶硅硅片切割的相关设备。

主权项

1、一种硅块切割设备的防涨裂装置，其特征在于所述的硅块切割设备设有一防止切割硅块涨裂的装置，所述的防涨裂装置由一底板和设于硅块两端、与底板固定连接的两块固定板组成，固定板开设若干螺孔，切割硅块放置于固定板之间，用螺钉夹持。