发明名称 发光二极管的制造方法
摘要 本发明是有关于一种发光二极管及其制造方法,其方法包括以下步骤:(A)提供一基板;(B)形成一碳化硅膜层于基板表面;(C)形成一钻石层于碳化硅膜层表面,且移除基板,其中,钻石层包括有一第一表面及一第二表面,第二表面紧邻碳化硅膜层表面;(D)形成一半导体外延层于碳化硅膜层表面;以及(E)形成一第一电极于半导体外延层表面,且形成一金属层于钻石层的第一表面。以此,本发明的制造方法可有效降低制作成本及简化制作流程,以制得散热效率且外延质量佳的发光二极管。
申请公布号 CN100593247C 申请公布日期 2010.03.03
申请号 CN200710147945.6 申请日期 2007.08.27
申请人 中国砂轮企业股份有限公司 发明人 张孝国;陈志鹏;徐志伟
分类号 H01L33/00(2006.01)I 主分类号 H01L33/00(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 周长兴
主权项 1、一种发光二极管的制造方法,包括以下步骤:(A)提供一基板;(B)形成一碳化硅膜层于该基板表面;(C)形成一钻石层于该碳化硅膜层表面,且移除该基板;其中,该钻石层包括有一第一表面、及一第二表面,该第二表面紧邻该碳化硅膜层表面;(D)利用外延成长方式形成一半导体外延层于该碳化硅膜层表面,其中,该半导体外延层包括依序形成的一第一电性半导体层、一活性层、及一第二电性半导体层;以及(E)形成一第一电极于该半导体外延层表面,且形成一金属层于该钻石层的该第一表面。
地址 台湾省台北市延平南路10号