发明名称 钙钛矿类氧化物薄膜复合器件
摘要 本发明涉及一系列钙钛矿类氧化物薄膜复合器件,是在任意一种现有的衬底上,利用常规的薄膜制备方法和相应的微加工工艺制备而成。其核心结构均包括:一钙钛矿类氧化物层,所述的钙钛矿类氧化物为R<sub>E1-x</sub>T<sub>Mx</sub>MnO<sub>3</sub>型氧化物,其中,R<sub>E</sub>为La或/和Pr、Nd、或Y;T<sub>M</sub>为Sr或Ca;0<x<1.0。这些复合器件充分利用了钙钛矿类氧化物材料特有的电流/电压诱导的电阻效应,使得本发明提供的钙钛矿类氧化物薄膜复合器件的性能优良,在室温和一定的外加电流或电压作用下,可以呈现出很大的电阻相对变化量。完全符合室温下各种传感器、自旋阀开关、随机存取存储器存储单元和其它自旋电子学器件应用的需要,在实际中有广阔的应用前景。
申请公布号 CN100593214C 申请公布日期 2010.03.03
申请号 CN200510011815.0 申请日期 2005.05.27
申请人 中国科学院物理研究所 发明人 丰家峰;赵昆;赵见高;吕惠宾;韩秀峰;詹文山
分类号 G11C11/14(2006.01)I;H01L27/22(2006.01)I;H01L43/08(2006.01)I;G11B5/31(2006.01)I 主分类号 G11C11/14(2006.01)I
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 代理人 高存秀
主权项 1、一种钙钛矿类氧化物薄膜复合器件,其核心结构包括一衬底,及在所述衬底上沉积的厚为0.5~2000nm的钙钛矿类氧化物层;其特征在于,所述钙钛矿类氧化物层刻蚀成条形,所述条形两端为引线引出端,钙钛矿类氧化物层的中间部分作为柱状结区;所述的钙钛矿类氧化物为RE1-xTMxMnO3型氧化物,其中,RE包括:La或/和Pr、Nd、或Y;TM为Sr或Ca;0<x<1.0。
地址 100080北京市海淀区中关村南三街8号