离子源

摘要

本发明提供一种离子源，其生成含有铝离子的离子束，所述离子源包括：等离子体生成容器(2)，含氟可电离气体(8)被导入其中；热阴极(12)，设置在该等离子体生成容器(2)内的一侧；对置反射电极(20)，设置在等离子体生成容器(2)内的另外一侧，相对于该等离子体生成容器(2)被施加来自于偏压电源(24)的负电压V_B，其反射电子；以及磁铁(30)，在等离子体生成容器(2)内产生磁场(28)，该磁场沿着连接热阴极(12)和对置反射电极(20)的线，所述对置反射电极(20)由含铝材料构成。与以往的离子源相比，本发明的离子源可以削减部件的数量并简化结构。

主权项

1.一种离子源，生成含有铝离子的离子束，其特征在于包括：等离子体生成容器，它兼作阳极，是用于在内部生成等离子体的容器，含氟可电离气体被导入其中；热阴极，设置在所述等离子体生成容器内的一侧，与所述等离子体生成容器电绝缘；对置反射电极，设置在所述等离子体生成容器内的另外一侧，与所述等离子体生成容器电绝缘，并且设置成与所述热阴极相对，以所述等离子体生成容器的电位为基准，所述对置反射电极被施加负电压，所述对置反射电极具有反射所述等离子体生成容器内的电子的功能，并且由含铝材料构成；以及磁铁，在所述等离子体生成容器内产生磁场，该磁场沿着连接所述热阴极和所述对置反射电极的线。