Robot and method for transferring wafer,申请号KR20080045160-传众专利搜索

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发明名称	Robot and method for transferring wafer
摘要
申请公布号	KR100945239(B1)	申请公布日期	2010.03.03
申请号	KR20080045160	申请日期	2008.05.15
申请人		发明人
分类号	H01L21/68;H01L21/67	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
地址

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