发明名称 NANOROD ARRAYS FORMED BY ION BEAM IMPLANTATION
摘要
申请公布号 KR100944889(B1) 申请公布日期 2010.03.03
申请号 KR20087002358 申请日期 2006.06.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;B82B3/00;D01F9/12 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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