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经营范围
发明名称
NANOROD ARRAYS FORMED BY ION BEAM IMPLANTATION
摘要
申请公布号
KR100944889(B1)
申请公布日期
2010.03.03
申请号
KR20087002358
申请日期
2006.06.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/00;B82B3/00;D01F9/12
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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