| 发明名称 | 含氟聚合物薄膜及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供与基材的密合性及膜强度良好的含氟聚合物的制造方法。含氟聚合物薄膜的制造方法的特征在于，通过以主链具有含氟脂肪族环结构、重均分子量为3000～80000的含氟聚合物为蒸镀源的物理蒸镀法，在基材上形成含氟聚合物薄膜。 | ||
| 申请公布号 | CN101663415A | 申请公布日期 | 2010.03.03 |
| 申请号 | CN200880012513.7 | 申请日期 | 2008.04.14 |
| 申请人 | 旭硝子株式会社 | 发明人 | 民辻慎哉;渡边邦夫;坂根好彦;南馆纯 |
| 分类号 | C23C14/12(2006.01)I;C08F16/38(2006.01)I;C08F24/00(2006.01)I;C08F34/02(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 刘多益;胡 烨 |
| 主权项 | 1.含氟聚合物薄膜的制造方法，其特征在于，通过以主链具有含氟脂肪族环结构、重均分子量为3000～80000的含氟聚合物为蒸镀源的物理蒸镀法，在基材上形成含氟聚合物薄膜。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||