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发明名称 METHOD OF FABRICATION MEMS INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP2158603(A1) 申请公布日期 2010.03.03
申请号 EP20080733380 申请日期 2008.04.22
申请人 SILVERBROOK RESEARCH PTY. LTD 发明人 MCAVOY, GREGORY JOHN;SILVERBROOK, KIA;KERR, EMMA ROSE;BAGNAT, MISTY;LAWLOR, VINCENT PATRICK
分类号 H01L21/78;B41J2/16 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
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