发明名称 |
热固化型芯片接合薄膜 |
摘要 |
本发明提供在将半导体元件芯片接合到被粘物上时,抑制其边缘部产生微孔或局部收缩,结果能够提高半导体装置的制造成品率的热固化型芯片接合薄膜。本发明的热固化型芯片接合薄膜,是制造半导体装置时使用的热固化型接合膜,其中,至少包含环氧树脂、酚树脂及丙烯酸系共聚物,并且当设所述环氧树脂与酚树脂的总重量为X、丙烯酸系共聚物的重量为Y时,其比率X/Y为0.7~5。 |
申请公布号 |
CN101661909A |
申请公布日期 |
2010.03.03 |
申请号 |
CN200910165975.9 |
申请日期 |
2009.08.20 |
申请人 |
日东电工株式会社 |
发明人 |
菅生悠树;三隅贞仁;松村健 |
分类号 |
H01L23/00(2006.01)I;C09J133/04(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/00(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
王海川;穆德骏 |
主权项 |
1.一种热固化型芯片接合薄膜,在制造半导体装置时使用,其中,至少包含环氧树脂、酚树脂及丙烯酸系共聚物,并且当设所述环氧树脂与酚树脂的总重量为X、丙烯酸系共聚物的重量为Y时,其比率X/Y为0.7~5。 |
地址 |
日本大阪 |