发明名称 热固化型芯片接合薄膜
摘要 本发明提供在将半导体元件芯片接合到被粘物上时,抑制其边缘部产生微孔或局部收缩,结果能够提高半导体装置的制造成品率的热固化型芯片接合薄膜。本发明的热固化型芯片接合薄膜,是制造半导体装置时使用的热固化型接合膜,其中,至少包含环氧树脂、酚树脂及丙烯酸系共聚物,并且当设所述环氧树脂与酚树脂的总重量为X、丙烯酸系共聚物的重量为Y时,其比率X/Y为0.7~5。
申请公布号 CN101661909A 申请公布日期 2010.03.03
申请号 CN200910165975.9 申请日期 2009.08.20
申请人 日东电工株式会社 发明人 菅生悠树;三隅贞仁;松村健
分类号 H01L23/00(2006.01)I;C09J133/04(2006.01)I 主分类号 H01L23/00(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 王海川;穆德骏
主权项 1.一种热固化型芯片接合薄膜,在制造半导体装置时使用,其中,至少包含环氧树脂、酚树脂及丙烯酸系共聚物,并且当设所述环氧树脂与酚树脂的总重量为X、丙烯酸系共聚物的重量为Y时,其比率X/Y为0.7~5。
地址 日本大阪