发明名称 发光二极管芯片表面微结构处理用设备
摘要 本实用新型提供了一种发光二极管芯片表面微结构处理用设备,其包括支架、安装于支架内的盛液槽、收容于盛液槽内的水泵、与水泵一端连通的出水管道和回流管道、所述出水管道另一端设有水龙头,水龙头下方设有安装于支架上的转盘,转盘下方设有安装于支架上的电机。该设备结构简单,成本低廉并且对发光二极管芯片表面粗化均匀,效果好。
申请公布号 CN201417786Y 申请公布日期 2010.03.03
申请号 CN200920073848.1 申请日期 2009.04.28
申请人 上海大晨半导体技术有限公司 发明人 涂江;李有群;康建
分类号 H01L33/00(2006.01)I 主分类号 H01L33/00(2006.01)I
代理机构 上海光华专利事务所 代理人 余明伟
主权项 1.一种发光二极管芯片表面微结构处理用设备,其特征在于:该设备包括支架(8)、安装于支架内的盛液槽(1)、收容于盛液槽内的水泵(4)、与水泵一端连通的出水管道(7)、所述出水管道(7)另一端设有水龙头(2),水龙头(2)下方设有安装于支架(8)上的转盘(3)。
地址 201400上海市奉贤区南桥镇光明6组