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发明名称
摘要
申请公布号	JP4423418(B2)	申请公布日期	2010.03.03
申请号	JP20040030296	申请日期	2004.02.06
申请人		发明人
分类号	H01L51/05;H01L51/30;H01L21/336;H01L29/786;H01L51/00	主分类号	H01L51/05
代理机构		代理人
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