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经营范围
发明名称
METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100944831(B1)
申请公布日期
2010.03.03
申请号
KR20040086943
申请日期
2004.10.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/336;H01L21/28;H01L29/51;H01L29/78
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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