| 发明名称 |
Apparatus for monitoring the functionality of an optical element |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1398612(B1) |
申请公布日期 |
2010.03.03 |
| 申请号 |
EP20020020369 |
申请日期 |
2002.09.12 |
| 申请人 |
TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH |
发明人 |
FLISS, STEFAN |
| 分类号 |
G01M11/00;G01N21/55;G01N21/88 |
主分类号 |
G01M11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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