发明名称 Method of semiconductor memory device high dielectric capacitor
摘要
申请公布号 KR100944323(B1) 申请公布日期 2010.03.03
申请号 KR20030043771 申请日期 2003.06.30
申请人 发明人
分类号 H01L27/105 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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