| 摘要 |
<p>Foreliggende oppfinnelse vedrører en sensor for måling av strukturer i en overflate, f.eks. en fingeravtrykksensor som omfatter et valgt antall sensorelementer ved valgte posisjoner for kobling til en fingeroverflate som har en størrelse mindre eller sammenlignbar med størrelsen til strukturene i fingeroverflaten, og en prosesseringsenhet som inkluderer undersøkelseselektroder koblet til ovennevnte sensorelementer for fremskaffelse av impedansmålinger ved ovennevnte fingeroverflate, der prosessenngsenheten er montert på en side av et substrat og der sensorelementene er plassert på den andre siden av ovennevnte substrat, der substratet inkluderer gjennomgående første ledere mellom ovennevnte sensorelementer og ovennevnte undersøkelseselektroder. Substratet er fremstilt fra et halvledermateriale slik som silisium og ovennevnte første ledere utgjøres av gjennomgående substratseksjoner av en valgt størrelse omgitt av en dielektrisk isolasjon som skiller dem fra substratet.1</p> |
