| 摘要 |
本发明揭露一种具有改良式驱动动作的矩形闸阀，本发明之矩形闸阀，包括：一密封件，用以开启或关闭晶圆移动路径；一主轴，其耦合至该密封件且具有一引导件；与一外支架，其具有一第一导槽，该引导件插入该第一导槽中。该矩形闸阀更包括：一阀驱动单元，其备置在该外支架中，且包括：一汽缸；一活塞，其备置在该汽缸中；一活塞轴，其耦合该活塞；一移动单元，其耦合该活塞轴；及一连接环，其连接于该移动单元与该主轴之间。该矩形闸阀更包括一引导支架，其包括：一直立支架，其从该外支架之下表面向下延伸，一第二导槽，其形成在该直立支架中；及一水平支架，其耦合至该直立支架。该矩形闸阀更包括：一导环，其第一端处耦合至该主轴且其第二端处插入该第二导槽中，使得该导环沿着该第二导槽移动以引导该主轴的移动。 |
