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经营范围
发明名称
研磨垫
摘要
本发明之目的在于提供一种耐久性优异之研磨垫。本发明之研磨垫系在基材层上设有研磨层,且前述研磨层系由具有平均气泡径35~300μm之大致球状连续气泡的热硬化性聚胺甲酸酯发泡体构成者。
申请公布号
TWI321078
申请公布日期
2010.03.01
申请号
TW096114785
申请日期
2007.04.26
申请人
东洋橡胶工业股份有限公司
发明人
福田武司;丸山觉史;广濑纯司;中村贤治;堂浦真人
分类号
B24B37/04;H01L21/304
主分类号
B24B37/04
代理机构
代理人
恽轶群;陈文郎
主权项
一种研磨垫,系在基材层上设有研磨层者,其特征在于:前述研磨层系由具有平均气泡径35~300μm之大致球状连续气泡的热硬化性聚胺甲酸酯发泡体构成,前述热硬化性聚胺甲酸酯发泡体系含有异氰酸酯成分与含活性氢化合物之气泡分散胺甲酸酯组成物的反应硬化物,且前述含活性氢化合物至少含有高分子量聚醇,并且前述高分子量聚醇含有20~100重量%之聚合物聚醇,而该聚合物聚醇分散有由丙烯腈及/或苯乙烯-丙烯腈共聚物构成之聚合物粒子。
地址
日本
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