供气构件及处理装置

摘要

供气构件包括本体部，在和保持处理对象物的处理构件之间形成将气体供给至处理对象物上的供气路。在本体部形成位于供气路之途中的气体积存部。

主权项

一种供气构件，包括：处理构件，保持处理对象物，其中该处理构件包括对该处理对象物进行加热处理的加热构件；本体部，具有上板部，在该上板部和该处理构件的上面之间形成供气路；第一气体积存部，形成于与该处理构件的一基板放置面平行的该上板部；第二气体积存部，形成于与该处理构件的该基板放置面平行的该本体部的另一板部，其中该上板部和该另一板部与该处理构件的该基板放置面的距离不同。