| 摘要 |
1. Способ изготовления волокон из кремния или материала на основе кремния, включающий стадии травления кремниевой подложки или подложки на основе кремния для получения столбиков и отделения столбиков от подложки. ! 2. Способ по п.1, в котором волокна имеют поперечные размеры от 0,08 до 0,5 мкм, предпочтительно 0,2 мкм, и длину от 20 до 300 мкм, предпочтительно 100 мкм. ! 3. Способ по п.1, в котором волокна имеют отношение длины к поперечному размеру примерно 100:1. ! 4. Способ по п.1, в котором волокна имеют, по существу, круглое поперечное сечение. ! 5. Способ по п.1, в котором волокна имеют, по существу, не круглое поперечное сечение. ! 6. Способ по п.1, в котором столбики получают посредством реактивного ионного травления. ! 7. Способ по п.1, в котором столбики получают посредством травления с помощью химической реакции. ! 8. Способ по п.7, в котором столбики получают посредством травления с помощью гальванического обмена. ! 9. Способ по п.1, в котором столбики отделяют одним или более из следующих способов: выскабливание, встряхивание или химическое травление. ! 10. Способ по п.1, в котором кремний или материал на основе кремния включает один из таких материалов, как недопированный кремний, допированный кремний или смесь кремний-германий. ! 11. Способ по любому из пп.1-10, в котором волокно представляет собой монокристаллический кремний или материал на основе кремния, включает один из таких материалов, как монокристаллический кремний или кремний-германий. ! 12. Способ получения электрода для аккумулятора, включающий нанесение суспензии, содержащей волокна на основе кремния, с образованием слоя волокон на основе кремния. ! 13. Способ по п.12, в котором волокна |
