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发明名称 ATOMLAGENABSCHEIDUNG (ALD) MIT HILFE VON METALLAMIDINATEN
摘要
申请公布号 DE60330896(D1) 申请公布日期 2010.02.25
申请号 DE20036030896 申请日期 2003.11.14
申请人 PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE 发明人 GORDON, ROY G.;LIM, BOOYONG S.
分类号 C23C16/06;C07C237/00;C07F19/00;C23C16/18;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455 主分类号 C23C16/06
代理机构 代理人
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