| 发明名称 |
Höhenverstellbare chemisch-mechanische Polierträgervorrichtung mit Schwenkmechanismus und Verfahren zum Anwenden derselben |
| 摘要 |
The invention provides a vertically adjustable chemical mechanical polishing head having a pivot mechanism and method for use thereof. <IMAGE> |
| 申请公布号 |
DE60330833(D1) |
申请公布日期 |
2010.02.25 |
| 申请号 |
DE2003630833 |
申请日期 |
2003.11.06 |
| 申请人 |
EBARA TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
SAKURAI, KUNIHIKO;MOLONEY, GERARD;WANG, HUEY-MING;LIU, JUN;LAO, PETER |
| 分类号 |
B24B37/04;B24B37/00;B24B37/30;B24B47/22;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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