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发明名称 RINGFÖRMIGES SPUTTERTARGET
摘要
申请公布号 DE60235008(D1) 申请公布日期 2010.02.25
申请号 DE20026035008 申请日期 2002.05.31
申请人 PRAXAIR S.T. TECHNOLOGY INC. 发明人 MARX, DANIEL R.;MATHEW, RAJAN;SNOWMAN, ALFRED;FISHER, CHARLES R.
分类号 C23C14/34;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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