Sensor in mikromechanischer Bauweise

摘要

Die Erfindung betrifft einen Messwandler vom Vibrationstyp 1 zum Messen eines Massendurchflusses eines strömenden Mediums, mit zwei geraden Messrohren 2 zum Führen des Mediums, wobei die Messrohre 2 parallel zueinander angeordnet sind und der Messwandler in mikromechanischer Bauweise ausgeführt ist. Der erfindungsgemäße Messwandler vom Vibrationstyp 1 erlaubt die zuverlässige Messung kleinster Massendurchflüsse eines strömenden Mediums, wie beispielsweise einer Flüssigkeit oder eines Gases.