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发明名称 Werkstückträger in einer Resistaushärtungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE60234982(D1) 申请公布日期 2010.02.25
申请号 DE20026034982 申请日期 2002.06.26
申请人 USHIODENKI K.K. 发明人 FUJIWARA, YOSHINORI;KENJO, YASUHIKO;WATANABE, YOSHIHIKO
分类号 G03F7/40;G03F7/20;G03F7/38;H01L21/00;H01L21/027;H05B3/74 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
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