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发明名称
Method for Manufacturing of Multi-layer Thin film Substrate and the multi-layer Thin film Substrate
摘要
申请公布号
KR100942944(B1)
申请公布日期
2010.02.22
申请号
KR20080018607
申请日期
2008.02.28
申请人
发明人
分类号
H01L23/15
主分类号
H01L23/15
代理机构
代理人
主权项
地址
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