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发明名称 MICROFEATURE WORKPIECES HOLDER AND MICROFEATURE WORKPIECE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100943163(B1) 申请公布日期 2010.02.22
申请号 KR20067003532 申请日期 2004.08.18
申请人 发明人
分类号 C23C16/458;C23C16/00;C23C16/44;C23C16/455 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
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