发明名称 DISPOSICION DE REVESTIMIENTO AL VACIO.
摘要 Una instalación de revestimiento al vacío (1), que incluye una cámara de revestimiento al vacío (2), varios rodillos de transporte (6 - 9, 99 - 101) dispuestos en paralelo entre sí, rotatorios y dispuestos dentro de la cámara de revestimiento al vacío (2), para el transporte de un sustrato de superficie extensa (11), caracterizada por: un accionamiento (10, 30 - 33) dispuesto fuera de la cámara de revestimiento al vacío (2), como mínimo un acoplamiento magnético (45, 46, 70) entre el accionamiento y como mínimo un rodillo de transporte (6).
申请公布号 ES2333349(T3) 申请公布日期 2010.02.19
申请号 ES20060012805T 申请日期 2006.06.22
申请人 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG 发明人 HENRICH, JURGEN;SAUER, ANDREAS;WURSTER, HARALD;HABERKORN, EDGAR
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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