发明名称 Vorrichtung zur Linearisierung des Auslenkungsverhaltens bei der insbesondere dynamischen Ansteuerung und Regelung eines Piezoaktors oder Piezoaktorsystems
摘要
申请公布号 DE202009012938(U1) 申请公布日期 2010.02.18
申请号 DE200920012938U 申请日期 2009.08.28
申请人 PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO. KG 发明人
分类号 H02N2/06 主分类号 H02N2/06
代理机构 代理人
主权项
地址