DEVICE FOR THE TREATMENT OF SURFACES WITH A PLASMA GENERATED BY AN ELECTRODE OVER A SOLID DIELECTRIC VIA A DIELECTRICALLY IMPEDED GAS DISCHARGE

摘要

Erfindungsgemäß wird bereitgestellt eine Vorrichtung zur Behandlung von Oberflächen mit einem mittels einer Elektrode (1) über ein Feststoff -Dielektrikum (3) durch eine dielektrisch behinderte Gasentladung erzeugten Plasma (2), wobei die Vorrichtung eine Wirk-Oberflache (4) aufweist, die während der Behandlung unmittelbar an das Plasma (2) angrenzt, wobei die Wirk-Oberflache reversibel formveränderbar ist.