发明名称 Vielschichtiger piezoelektrischer Aktuator
摘要
申请公布号 DE10163358(B4) 申请公布日期 2010.02.18
申请号 DE2001163358 申请日期 2001.12.21
申请人 DENSO CORPORATION 发明人 KIHARA, NORIAKI;ITO, TOSHIHIKO;ISIOKA, HARUO;MURAI, ATSUSHI
分类号 H01L41/083;H01L41/047 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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