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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE AND METHOD
摘要
申请公布号 JP2010040593(A) 申请公布日期 2010.02.18
申请号 JP20080198864 申请日期 2008.07.31
申请人 SUMCO CORP 发明人 KASAMATSU TAKAAKI
分类号 H01L21/265;H01J37/317;H01L21/02;H01L27/12 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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