OPTICALLY PUMPED VCSEL HAVING A MULTIPLICITY OF ACTIVE AREAS FOR INTENSITY REDUCTION IN THE ANTI-RESONANT RESONATOR

摘要

In mindestens einer Ausführungsform des oberflächenemittierenden Halbleiterlaserchips (1) umfasst dieser eine erste Schichtenfolge (2), die für eine Primärstrahlung (P) mit einer Primärwellenlänge reflektierend wirkt, und einen Schichtenstapel (4), der dazu ausgestaltet ist, die Primärstrahlung (P) zu emittieren und der zumindest zwei aktive Bereiche (5) aufweist. Ein Teil der Schichten der ersten Schichtenfolge (2) ist hierbei im Schichtenstapel (4) verteilt. Ein solcher oberflächenemittierender Halbleiterlaserchip (1) weist geringe optische Verluste im Halbleiterlaserchip (1) auf und hat somit über eine hohe Effizienz. Der optisch gepumpte VCSEL enthält Barriereschichten (15) zur Absorption der Pumpstrahlung zwischen den Quantentrögen (5,16). Zumindestens eine niedrigberechende Schicht (2a) ist zwischen den aktiven Bereichen (5) angeordnet.