发明名称 Chemical Vapor Deposition Reactor and Method
摘要
申请公布号 AU2009202611(A1) 申请公布日期 2010.02.18
申请号 AU20090202611 申请日期 2009.06.30
申请人 GANG LI 发明人 GANG LI
分类号 C23C16/455;C30B25/14 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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